電子工業潔凈無塵室的概述
1)潔凈室是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪聲振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。
2)不論外在的空氣條件如何變化,其室內均能具有維持原先所設定要求的潔凈度、溫濕度及壓力等性能的特征
3)潔凈室技術包括空氣凈化風淋、建筑裝飾、玷污物發散源的控制,以及消除靜電和防微振。
4)潔凈室最主要的作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸的大氣的潔凈度,以及溫度、濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造